интегральная схемаа

SS101Вафли-Уровень Распределение Машина   Для поднаполнения формы вафель SS101 - это высокостабильная и точная система подачи на уровне пластины, которая разработана на основе требований процесса заполнения RDL First WLP. Оборудование отвечает потребностям полупроводниковой промышленности, может быть оснащено автоматической системой загрузки и разгрузки пластин и может автоматически выполнять такие функции, как обработка пластин,выровнение Он совместим с международными протоколами полупроводниковой связи.и оснащен автоматическим интерфейсом AMHS для загрузки и разгрузки роботов, чтобы соответствовать требования к управлению информацией и тенденции управления беспилотником.   SS101 Система расположения   ¢ Loadport & Foup ️ Выровнитель Станция сканирования QR-кодов Станция предварительного нагрева Станция рассеивания тепла Рабочая станция для диспенсирующей машины GS600SWB Модуль управления роботом     Состав системы подачи пищи на уровне пластины SS101 GS600SW диспенсерная машина на уровне вафель × 2 PC101 машина для погрузки и разгрузки пластинок × 1 Области применения RDL Первый WLP Применение CUF SS101 Операционный поток распределения на уровне пластины Особенности и преимущества Поддерживает подачу 8/12 дюймовых пластин. Пылестой уровень 10, соответствующий экологическим требованиям упаковки на уровне пластины. Защита от ESD, соответствующая международным стандартам IEC и ANSI. Во время всего процесса обращения и работы пластины температура тщательно контролируется и автоматически корректируется для удовлетворения требований процесса CUF при одновременном обеспечении безопасности продукции. Видеомониторинг всего процесса облегчает оборот продукции, наблюдение за процессом работы, отслеживание и анализ проблем   Технические спецификации   Система SS101 GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM) Области применения RDL Первый WLP, CUFПрименение Уровень чистоты Чистота рабочей зоны Класс 100 (мастерская класса 1000) Класс 10 (мастерская класса 100)     Области применения продукции Поддержка размера пластины φ200mm±0.5mm, φ300mm±0.5mm (Стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины) Поддержка толщины пластины 300-2550 мкм Максимально допустимый диапазон вафры < 5 мм (согласно типу роботового пальца) Максимально допустимая масса пластины 600 г (в зависимости от типа роботового пальца) Кассеты из вафелей 8-дюймовый открытый кассетный диск, 12-дюймовый Foup (стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины)     PC101 (EFEM) Способ погрузки и разгрузки Загрузочный порт+роботы Точность предварительного выравнивания Округленное отклонение коррекции центра≤±0,1 мм; отклонение коррекции угла≤±0,2 ° Читатель пластин Поддерживает шрифты SEMI (плоские или выпуклые/выпуклые поверхности), не-SEMI шрифты Диапазон температуры предварительного нагрева Температура в помещении ~ 180°C Способ охлаждения пластины Естественное охлаждение или охлаждение воздухом     Система управления движением Механизмы передачи X/Y: Линейный двигатель Z: Сервомотор и винтовой модуль Повторяемость X/Y: ±3μmZ: ±5μm Точность позиционирования X/Y: ±10μm Максимальная скорость движения X/Y: 1000 мм/с Z: 500 мм/с Максимальная ускоренная скорость X/Y: 1g Z: 0,5g   Система зрения Пиксели камеры 130 Вт Точность распознавания ± 1 пиксель Диапазон распознавания 12 × 16 мм

GS600DD Полностью автоматическая диспенсирующая машина   Для дамб и наполнителей GS600DD полностью автоматическая диспенсирующая машина является частью высокостабильного и высокоточного диспенсирующего оборудования, которое разработано на основе требований процесса Dam & Fill FCBGA и т. д.Оборудование отвечает потребностям полупроводниковой промышленности, оснащен автоматической системой погрузки и разгрузки, и может автоматически реализовать функции погрузки и разгрузки журналов, пробки клея и подполнения клея.Он совместим с международными протоколами связи на полупроводниках., и соответствует требованиям управления информацией и тенденциям беспилотного управления.   Состав системы GS600DD полностью автоматическая диспенсерная машина × 1 Автоматическая машина для погрузки и разгрузки журналов × 1   Операционный поток Загрузка магазина -Сброс клея на дамбу -Сброс клея на подвал -Сброс магазина -Сброс магазина   Особенности и преимущества Хорошая амортизация ударов с минеральной структурой рамы для эффективного снижения воздействия, вызванного высокоскоростной работой оборудования. Капацитивное обнаружение и обнаружение лазерной индукции для предотвращения потери продукта из-за недостаточного количества клея Уровень 10, устойчивый к пыли, соответствующий требованиям окружающей среды упаковки. Автоматическая функция компенсации положения подачи для обеспечения точности подачи Защита от ESD, соответствующая международным стандартам IEC и ANSI. Функция обнаружения ширины клея для предотвращения рисков процесса, вызванных плохой диспенсацией. Технические спецификации   Модель GS600DD Состав системы GS600DD * 1,Машина для автоматической погрузки и разгрузки журналов * 1 Области применения FCBGA, Wire Bonding Encapsulation (ФКБГА, Включение проволоки) Уровень чистоты Чистота рабочей зоны Класс 100 (мастерская класса 1000) Класс 10 (мастерская класса 100) Система передачи Размеры 770×1650×2100 мм Система передачи X/Y:линейный двигатель Z:сервомотор и винтовой модуль Повторяемость (3сигма) X/Y: ±5 мкм Z: ±10 мкм Точность позиционирования (3сигма) X/Y: ±10 мкм Z: ±25 мкм Максимальная скорость движения X/Y:1300mm/s Z: 500mm/s Максимальная ускоренная скорость X/Y:1.3g Z:0.5 г Диспансеризация 355 мм × 595 мм Разрешение решетки 1 м Визуальная точность повторяющегося совпадения 5 мкм Точность одноточечного положения клея ≤ ± 30 μm Метод калибровки и компенсации высоты оси Z Лазерный датчик Точность лазерного датчика ± 1 м Спектр оси Z. Асинхронная двойная головка Тип применяемого шприца 5cc, 10cc, 30cc, 50cc, 70cc Точность массы клея 10 мг±3%, 5 мг±5% Точность модуля взвешивания 220 г/0, 1 мг Модуль зрения Пиксели 500 Вт (2048×2448 дп) Очки 0.2X телецентрическая линза Вид камеры 35×35 мм Точность одного пикселя 17мм Определение ширины клея ≥ 170um ФРС AOI (показатель ошибок в оценке) < 2,5% AOI FAR (отсутствие показателя обнаружения) 0 Метод визуального позиционирования Особенности внешнего вида товарного знака/продукта Возможность коррекции угла вторичного клапана относительно основного клапана 0-180° (7 × 7 мм) 0-3° (110×110 мм) Способ стрельбы Удар по позиционированию/удар на лету Устройства Температура окружающей среды и влажность 25°C±5°C, 30 ~ 70% Отпечаток W × D × H 770×1650×2100 мм (без погрузки и разгрузки)    

GS600SU Недополнение Распределитьпокрытие Машина для формы под заполнением   GS600 SU представляет собой высокоскоростную и высокоточную автоматическую систему онлайн-распределения, которая разработана на основе требований процесса Underfill FCBGA/FCCSP. Система строго контролирует температуру продукта и клея, и интеллектуально сортирует последовательность работы продукта и время пополнения клея,уменьшение образования пустоты и обеспечение производительности работыМежду тем, он совместим с международными протоколами полупроводниковой связи и соответствует требованиям управления информацией.   ■Области применения FCBGA Packaging CUF Приложение FCCSP Packaging CUF Приложение SiP Packaging CUF Приложение   ■ Технические спецификации Области применения FCBGA, FCCSP, SIP Применимый процесс Недополнение формы Уровень чистоты Чистота рабочей зоны Класс 100 (мастерская класса 1000) Класс 10 (мастерская класса 100)         Передача Механизм Система передачи X/Y:Линейный двигатель Z: Сервомотор и винтовой модуль Повторяемость (3сигма) X/Y: ±0,003 мм, Z: ±0,005 мм Точность позиционирования (3сигма) X/Y: ±0,010 мм, Z: ±0,015 мм Максимальная скорость движения X/Y: 1000 мм/с Z: 500 мм/с Максимальная ускоренная скорость X/Y: 1g, Z: 0,5g Разрешение решетки 1 м Диапазон движения оси Z ((W × D) 3 5 0 мм×4 7 0 мм Метод калибровки и компенсации высоты оси Z Лазерный датчик (лазерный датчик) Точность лазерного датчика 2 мкм           Система распределения Точность контроля клея ± 3 % / 1 мг Повторяемость одноточечного положения CPK>1.0 ± 25 м Минимальный диаметр сопла 30 мкм Минимальный вес одноточечного клея 0,001 мг/точку Максимальная вязкость жидкости 200000cps Максимальная частота струи 1000 Гц Температура нагрева трубки/насадки Температура в помещении ~200°C Отклонение температуры нагрева трубки/насадки ± 2 °C Применимые спецификации упаковки клея. 5CC/10CC/30CC/50CC/70CC Диапазон охлаждения шприца Охлаждается до 15°C ниже температуры окружающей среды. Диапазон пьезоохлаждения Охлаждается до температуры сжатого воздуха.             Рельсовая система Количество дорожек 2 Количество секций ремней Один кусок. Максимальная скорость передачи 300 мм/с Максимальная масса рельсовой трансмиссии 3 кг Минимальное расстояние между краями 3 мм Диапазон регулировки ширины рельса 60mm~162mm Регулируемый Способ регулирования ширины рельса Учебное пособие Высота рельса 910mm~960mm Регулируемый Максимальная толщина подложки/носителя 6 мм Применимый диапазон длины подложки/носителя 60-325 мм Диапазон вакуумного всасывающего давления -50~-80Kpa Регулируемый Нижний диапазон температуры нагрева Температура в помещении ~ 180°C Отклонение температуры нижнего отопления ≤ ± 1,5 °C       Устройства Отпечатки от ног W × D × H 2380mm*1550mm*2080mm ((Включается загрузка и разгрузка и дисплей) 2380mm*1200mm*2080mm ((Включает погрузку и разгрузку, не включает дисплей) Вес 1600 кг Электрическое питание 200 ~ 240VAC,47 ~ 63HZ (единофазное адаптационное питание к напряжению) Электрический ток 30А Сила 6.4КВт Ингаляция (0,5 МПа, 450 л/мин) ×2   Применение FCBGA Packaging CUF Применение FCCSP CUF для упаковки Применение SiP Packaging CUF Специальные процессовые модули Специальная пьезоэлектрическая система струи CUFКлейкая изоляция + пьезоэлектрический керамический замкнутый цикл контроля температуры для предотвращения нестабильности системы, вызванной воздействием температуры Трехкратная низкоуровневая тревогаКапацитивное обнаружение + магнитное обнаружение + система взвешивания для предотвращения плохой работы, вызванной отсутствием клея Нагреватель вакуумной адсорбцииРазница температуры всей поверхности светильника ≤ ± 1,5°C,и температура контролируется и компенсируется в режиме реального времени, чтобы избежать плохой работы, вызванной изменением температуры продукта во время работы Путь нажатияВакуумный адсорбционный прибор всегда остается неподвижным, а рельс движется вверх и вниз, чтобы избежать плохой работы, вызванной потерей плоскости во время взаимного движения вакуумного адсорбционного прибора. Система погрузки и разгрузки по типу платформыПоследовательность питания автоматически сортируется, и операция завершается в пределах времени плазмыДизайн дружественного интерфейса между человеком и машиной Визуальная системаФункции определения местоположения и обнаруженияПроверка перед эксплуатацией для предотвращения дефектных поступающих материаловПроверка после эксплуатации для предотвращения дефектов партии    

SS200 Крышка Прикрепление Система   Это высокостабильная и точная система крепления крышки, разработанная на основе требований процесса крепления крышки FCBGA / FCCSP. Интегрируя функции автоматической загрузки и разгрузки, распределения, прикрепления крышки, Snapcure, и распределения и прикрепления инспекции,Система может автоматически выполнять функции, включая автоматическую загрузку и разгрузку подложки и крышки, автоматическое покрытие клеем AD & Tim, обнаружение формы клея, установка крышки и обнаружение результатов установки, а также удержание давления крышки и предварительное отверждение.Она совместима с международными протоколами полупроводниковой связи., и отвечает соответствующим требованиям автоматизированных производственных линий.   Состав полностью автоматической системы управления   Загрузочная машина KLM201 Машина для раздачи GS600SD ¢ Машина для горячего прессования MP200 КУМ2 0 1 машина для разгрузки * Машины этой системы имеют модульную конструкцию. * Последовательность или количество распределительной машины, устанавливаемой машины и горячего прессования можно регулировать в соответствии с Требования последовательности процессов и коэффициента эффективности.   Особенности и преимущества Хорошая амортизация ударов с минеральной структурой рамы для эффективного снижения удара, вызванного высокоскоростной работой. Защита от ESD, соответствующая международным стандартам IEC и ANSI. Автоматическая функция компенсации положения подачи для обеспечения точности подачи. Модульная конструкция всей машины и диспетчерская операция, поддерживающая синхронизацию с двумя клапанами с интерполяцией / асинхронизацией с двумя клапанами. Прочный уровень 10, отвечающий требованиям передовой упаковочной промышленности. Функция обнаружения ширины клея для предотвращения рисков процесса, вызванных плохой диспенсацией. Соответствующая функция контроля для обеспечения качества продукции после завершения каждой стадии процесса. Система загрузки типа платформы для поддержки непрерывной работы нескольких магазинов.   SS200 Поля применения Области применения Применение FCBGA / FCCSP для прикрепления крышки (включая AD-клею, Tim-клею, Lid Attach, Snapcure) Подходящий размер PKG 5 мм × 5 мм- 110 мм × 110 мм Макс, лодка. L × W ≤ 325 мм × 162 мм Макс, лодка готова. 3 кг (включая вес продукта) Максимальный размер журнала. L× W× H≤ 330 мм× 165 мм× 180 мм Максимум. L × W≤ 3 1 6 мм × 135 мм Способ загрузки крышки Журнал, погрузка подноса (стандарт); питание поясом ((необязательно) ; трубка/мягкая поднос (настраиваемая)   SS200 Общественные объекты Температура окружающей среды и влажность 25°C±5°C, 30 ~ 70% Отпечаток W× D× H 5870 мм × 1650 мм × 2100 мм Масса системы 5.8T Силовое питание 200~240VAC,47~63HZ,Единофазное адаптивное питание Электрический ток 81А Сила 18 кВт Ингаляция 1770 л/мин   Модуль погрузки и выгрузки KLM/KUM201 KLM/ KUM201Загрузчик и разгрузчик Размер 1 2 0 0 мм × 6 1 5 мм × 2 0 14 мм FM Чистка и карантин Душ с ионным воздушным занавесом у входа Корабль КТ. 3 шт. Способ погрузки Тип платформы Повторяемость (3 сигма) Z/Y: < 0,05 мм Максимальная скорость движения. Z/Y: 300 мм/с Максимальная скорость. Z/Y: 3000 мм/с2     Защита продукции 1При нормальном рабочем состоянии/временном отключении питания машины ось движения остается на месте, чтобы предотвратить падение изделия. 2. Укомплектованный различными цветовыми огнями, визуализирующими состояние подноса 3. Способен обнаруживать поднос, выступающий из лодки, а затем останавливаться и сигнализировать 4. Способен обнаруживать и сигнализировать о заторможении материала 5Способен обнаруживать и сигнализировать о ненормальном рабочем положении подноса