logo
Changzhou Mingseal Robot Technology Co., Ltd.
О Компании
Домой > продукты > Микродиспансер клея >

GS600SW Диспенсирующая машина на уровне пластинки RDL Первое приложение WLP CUF для заполнения формы пластинки

Подробная информация о продукции

GS600SW Диспенсирующая машина на уровне пластинки RDL Первое приложение WLP CUF для заполнения формы пластинки

МОК: 1
Цена: $1000-$150000
Подробная информация об упаковке: Деревянные
Время доставки: 5-60 дней
Условия оплаты: L/C, T/T, D/A, D/P, MoneyGram, Western Union
Подробная информация
Место происхождения:
Китай
Фирменное наименование:
MingSeal
Сертификация:
ISO CE
Номер модели:
GS600SW
Состояние:
Новый
Напряжение:
110 В/220 В
Автоматический класс:
Автоматический
Гарантия:
Один год
Выделить:

Машина для подачи поднаполнителей на уровне вафель

,

Устройство для распределения вафли на уровне GS600SW

,

Машины для распределения вафель на уровне WLP CUF

Описание продукта

SS101Вафли-Уровень Распределение Машина

 

Для поднаполнения формы вафель

SS101 - это высокостабильная и точная система подачи на уровне пластины, которая разработана на основе требований процесса заполнения RDL First WLP.

Оборудование отвечает потребностям полупроводниковой промышленности, может быть оснащено автоматической системой загрузки и разгрузки пластин и может автоматически выполнять такие функции, как обработка пластин,выровнение Он совместим с международными протоколами полупроводниковой связи.и оснащен автоматическим интерфейсом AMHS для загрузки и разгрузки роботов, чтобы соответствовать

требования к управлению информацией и тенденции управления беспилотником.
 
SS101 Система расположения

 

¢ Loadport & Foup

️ Выровнитель

Станция сканирования QR-кодов

Станция предварительного нагрева

Станция рассеивания тепла

Рабочая станция для диспенсирующей машины GS600SWB

Модуль управления роботом
 

 

Состав системы подачи пищи на уровне пластины SS101

  • GS600SW диспенсерная машина на уровне вафель × 2
  • PC101 машина для погрузки и разгрузки пластинок × 1

Области применения

  • RDL Первый WLP
  • Применение CUF

SS101 Операционный поток распределения на уровне пластины

QQ截图20230207112218

Особенности и преимущества

  • Поддерживает подачу 8/12 дюймовых пластин.
  • Пылестой уровень 10, соответствующий экологическим требованиям упаковки на уровне пластины.
  • Защита от ESD, соответствующая международным стандартам IEC и ANSI.
  • Во время всего процесса обращения и работы пластины температура тщательно контролируется и автоматически корректируется для удовлетворения требований процесса CUF при одновременном обеспечении безопасности продукции.
  • Видеомониторинг всего процесса облегчает оборот продукции, наблюдение за процессом работы, отслеживание и анализ проблем

 

Технические спецификации
 

Система SS101 GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM)
Области применения RDL Первый WLP, CUFПрименение
Уровень чистоты Чистота рабочей зоны

Класс 100 (мастерская класса 1000)

Класс 10 (мастерская класса 100)

 
 

Области применения продукции

Поддержка размера пластины

φ200mm±0.5mm, φ300mm±0.5mm

(Стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины)

Поддержка толщины пластины 300-2550 мкм
Максимально допустимый диапазон вафры < 5 мм (согласно типу роботового пальца)
Максимально допустимая масса пластины 600 г (в зависимости от типа роботового пальца)
Кассеты из вафелей 8-дюймовый открытый кассетный диск, 12-дюймовый Foup (стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины)

 
 

PC101 (EFEM)

Способ погрузки и разгрузки Загрузочный порт+роботы
Точность предварительного выравнивания Округленное отклонение коррекции центра≤±0,1 мм; отклонение коррекции угла≤±0,2 °
Читатель пластин Поддерживает шрифты SEMI (плоские или выпуклые/выпуклые поверхности), не-SEMI шрифты
Диапазон температуры предварительного нагрева Температура в помещении ~ 180°C
Способ охлаждения пластины Естественное охлаждение или охлаждение воздухом

 
 

Система управления движением

Механизмы передачи X/Y: Линейный двигатель Z: Сервомотор и винтовой модуль
Повторяемость X/Y: ±3μmZ: ±5μm
Точность позиционирования X/Y: ±10μm
Максимальная скорость движения X/Y: 1000 мм/с Z: 500 мм/с
Максимальная ускоренная скорость X/Y: 1g Z: 0,5g

 

Система зрения

Пиксели камеры 130 Вт
Точность распознавания ± 1 пиксель
Диапазон распознавания 12 × 16 мм<Расстояние распознавания < 19,2 × 25,6 мм
Источник света Комбинированный трехцветный источник света красный, зеленый, белый + красный
Система калибровки веса Точность взвешивания 00,01 мг

 
 

Нагрузка на стол

Отклонение плоскости вакуумной поверхности ≤ 3 0 мм
Диапазон температуры нагрева Температура в помещении ~ 180°C
Отклонение температуры нагрева ≤ ± 1,5 °C
Повторяемость высоты подъема ± 10 м
Вакуумное всасывающее давление -70~-85Kpa Установляемая

 
 
 
 

 

Устройства

Отпечаток (W*D*H) 3075×2200×2200мм ((Экран развернут)
Вес 2.9t
Электрическое питание 200 ~ 240VAC,47 ~ 63HZ (единофазное адаптационное питание к напряжению)
Электрический ток 75А
Сила 16.5 кВт
Ингаляция (0,5 МПа, 450 л/мин) ×5 пути
Рабочая температура окружающей среды 23°C±3°C
Относительная влажность рабочей среды 30 ~ 70%

 

GS600SW Диспенсирующая машина на уровне пластинки RDL Первое приложение WLP CUF для заполнения формы пластинки 1